高效率 · 低能耗 · 精致 · 耐用
洁净空气 成效斐然
光刻机是制造集成电路和半导体芯片的关键设备之一，其精度和稳定性对于芯片的性能和可靠性具有决定性的影响。在光刻机使用时，黄光区是一个空气管控的重要区域，洁净度达到ISO Class2、ISO Class1级。
洁斐然微环境洁净棚，适配洁斐然U17过滤器，适用于微电子半导体工业的光刻黄光区，多层净化，为光刻品质提供保护。图为洁斐然为国内某著名科技大学黄光区进行空气净化管控建设，特殊结构设计，解决安装空间紧凑有限的难题，且保障了维保便捷。
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